美國Virtual STEALTH-WAND（常開型VVSW-NO）和STEALTH-WAND™ ELITE（常閉型VVSW-NC）真空晶圓吸筆套件用于連接廠務壓縮空氣或氮氣氣源系統(tǒng)，通過氣管連接VACUUM PEN真空吸筆桿，筆桿前端插入防靜電PEEK吸筆頭，應對各種厚度規(guī)格及尺寸的Wafer晶圓硅片、太陽能電池片等平面物體吸取轉移操作，可以通過調節(jié)輸入壓力來控制真空度。Virtual VVSW-NC-MW8晶圓吸筆套件隨附：常閉型真空筆桿手柄、VMWT-C八寸晶圓吸筆頭、VBM-4吸筆支架、6尺長1/16英寸空氣軟管、1/8 NPT至1/16“螺紋適配器用于連接外部氣源，將方形吸頭垂直接觸晶片，然后按住按鈕并保持即可接通真空系統(tǒng)吸住物體，將晶圓片移至所需位置釋放控制按鈕以釋放。

VIRTUAL VVSW-NC STEALTH-WAND™ ELITE常閉型真空晶圓吸筆套件

STEALTH-WAND™ELITE VVSW-NC常閉型晶圓真空吸筆直接在30至50 psi的壓縮空氣或氮氣下運行。ESD防靜電常閉設置的STEALTH-VAC™Elite吸筆桿VACUUM PEN™包含一個耳語安靜的低噪音Venturi文丘里效應真空發(fā)生器，僅在按下控制按鈕時才會激活，不使用時為斷開狀態(tài)，這有助于節(jié)省工廠壓縮空氣?？梢酝ㄟ^調節(jié)輸入壓力來控制真空度，這個功能對于處理薄晶圓很重要：

輸入50 psi時，真空水平為21 InHg，自由空氣流量為2 lpm

輸入30 psi時，真空度為18 InHg，自由空氣流量為1.75 lpm

輸入10 psi時，真空度為3 InHg，壓力為0.75 lpm自由氣流

美國Virtual VVSW-NC廠務真空晶圓吸筆套件訂貨信息

STEALTH-WAND™ ELITE真空常閉型VVSW-NC系列：

連接30至50 psi的廠務壓縮空氣或氮氣，通過調節(jié)輸入壓力控制真空度，按住按鈕并維持接通狀態(tài)，松開按鈕釋放晶圓

VVSW-NC-MW4四寸晶圓吸筆套件：STEALTH-WAND™ ELITE Kit With (VMWT-A) Wafer Tip

VVSW-NC-MW6六寸晶圓吸筆套件：STEALTH-WAND™ ELITE Kit With (VMWT-B) Wafer Tip

VVSW-NC-MW8八寸晶圓吸筆套件 常閉型：STEALTH-WAND™ ELITE Kit With (VMWT-C吸筆頭) Wafer Tip

VVSW-NC-MW12 12寸晶圓吸筆套件：STEALTH-WAND™ ELITE Kit With (VMWT-D) Wafer Tip

以上套件均包含筆桿、吸筆頭、2米氣管及筆座支架；VVSW-NO-X單獨筆桿：STEALTH-WAND™ Handle Only

 另有STEALTH-WAND常開型VVSW-NO系列：

連接30至70 psi的廠務壓縮空氣或氮氣，真空常開接通氣源，不操作按鈕即可吸取并保持，按下按鈕釋放

在70 psi輸入下，真空水平為20 InHg，自由空氣流量為4 lpm

在30 psi輸入下，真空水平為10 InHg，自由空氣流量為3 lpm

在10 psi輸入下，真空水平為2 InHg，自由氣流為1 lpm

VVSW-NO-MW8八寸真空晶圓吸筆 常開型, STEALTH-WAND™ Kit With (VMWT-C吸筆頭) Wafer Tip

VVSW-NO-MW4常閉型晶圓吸筆4寸、VVSW-NO-MW6晶圓吸筆6寸、VVSW-NO-MW12晶圓吸筆12寸

VVSW-NO-X常開型真空筆桿STEALTH-WAND™ Handle Only